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首頁 產(chǎn)品中心 藍(lán)寶石 晶體單面拋光機(jī)

晶體單面拋光機(jī)

DM520-4A

  • 設(shè)備尺寸:2630×1700×2740mm
  • 設(shè)備重量:約5500kg

本機(jī)主要用于砷化鎵、硅片、碳化硅、藍(lán)寶石片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料,平行平面的單面高精度、高效率拋光。 該機(jī)采用觸摸界面及 PLC 控制。為用戶提供開放式的圖形操控界面,充分發(fā)揮機(jī)械硬件性能;該機(jī)主傳動(dòng)具有傳動(dòng)鏈短、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn);四個(gè) PP 頭壓力單獨(dú)控制,單獨(dú)驅(qū)動(dòng),下盤采用循化冷卻水強(qiáng)制冷卻,溫度控制精確。

設(shè)備特點(diǎn)


1  主軸系統(tǒng)位于設(shè)備的下方,由電機(jī)通過窄 V 帶及斜齒輪拖動(dòng),采用最短的傳動(dòng)鏈保證了其運(yùn)轉(zhuǎn)精度,下盤采用動(dòng)壓軸承支撐,運(yùn)轉(zhuǎn)剛度和精度都得到了良好的保障,下盤軸下部裝有旋轉(zhuǎn)接頭,用于下盤內(nèi)通冷卻水,下盤冷卻水流量可通過電動(dòng)閥比例調(diào)節(jié)

2  PP 拋光頭位于設(shè)備的上部,PP 頭的升降及加壓由氣缸實(shí)現(xiàn),四個(gè) PP 頭的升降及加壓均單獨(dú)控制;PP 頭可主動(dòng)旋轉(zhuǎn),單獨(dú)控制;PP 頭具備真空吸附功能,可將陶瓷盤快速提起

3 在設(shè)備的上部箱體正面設(shè)有主操作面板,可進(jìn)行參數(shù)設(shè)定,運(yùn)行監(jiān)控等功能,在上箱體的兩個(gè)側(cè)面分別設(shè)有小操縱板用于四個(gè) PP 頭的升降操作,在機(jī)臺相對應(yīng)的機(jī)架位也有一鍵裝盤操作功能                            

4 拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設(shè)備的后部引入;                               5 在下盤的外側(cè)設(shè)有可滑動(dòng)的防護(hù)罩,可防止工作液的飛濺,減少有害氣體的溢出;    

6 設(shè)備具有水液分離機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)拋光液及水的自由切換;                           7 在下拋盤中間設(shè)有可升降的一個(gè)中間導(dǎo)輪裝置,在接液盆邊緣部位設(shè)有四個(gè)外導(dǎo)輪裝置,二者配合可實(shí)現(xiàn)工件盤的自動(dòng)定位;

8 拋光液流經(jīng)或可能會(huì)接觸到的地方均采用不銹鋼材料或耐腐蝕非金屬材料制作或進(jìn)行 特殊的防腐處理,液桶采用透明 PVC 或不銹鋼制作 (按客戶需求定) ,拋光液管路采用潔凈 PVC 制作,滿足強(qiáng)酸強(qiáng)堿強(qiáng)氧化劑的使用環(huán)境。

10 具有自動(dòng)沖水裝置,PP 頭將陶瓷盤提起后,可自動(dòng)對工件或 PP 頭進(jìn)行噴水沖洗 (選配);

11 界面密碼分級管理,可根據(jù)不同權(quán)限設(shè)置;

12 歷史數(shù)據(jù) (溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、時(shí)間等) 可導(dǎo)出。


設(shè)備規(guī)格

名稱

規(guī)格

備注

  • 下盤

    直徑

    拋光∅1320mm

  • 材料

    SUS410

  • 轉(zhuǎn)速

    0-48rpm

  • 驅(qū)動(dòng)電機(jī)

    22KW

  • 上盤

    直徑

    ∅520mm

  • 材料

    SUS304或SUS316L

  • 功率

    0.75kw

  • 驅(qū)動(dòng)電機(jī)

    1-55rpm

  • 壓力

    0- 400kg

  • 最大加工直徑

    ∅ 500mm( 或?qū)?

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