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首頁 產(chǎn)品中心 藍(lán)寶石 晶體單面拋光機(jī)

晶體單面拋光機(jī)

DM520-4A

  • 設(shè)備尺寸:2630×1700×2740mm
  • 設(shè)備重量:約5500kg

本機(jī)主要用于砷化鎵、硅片、碳化硅、藍(lán)寶石片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料,平行平面的單面高精度、高效率拋光。 該機(jī)采用觸摸界面及 PLC 控制。為用戶提供開放式的圖形操控界面,充分發(fā)揮機(jī)械硬件性能;該機(jī)主傳動(dòng)具有傳動(dòng)鏈短、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn);四個(gè) PP 頭壓力單獨(dú)控制,單獨(dú)驅(qū)動(dòng),下盤采用循化冷卻水強(qiáng)制冷卻,溫度控制精確。

設(shè)備特點(diǎn)


1  主軸系統(tǒng)位于設(shè)備的下方,由電機(jī)通過窄 V 帶及斜齒輪拖動(dòng),采用最短的傳動(dòng)鏈保證了其運(yùn)轉(zhuǎn)精度,下盤采用動(dòng)壓軸承支撐,運(yùn)轉(zhuǎn)剛度和精度都得到了良好的保障,下盤軸下部裝有旋轉(zhuǎn)接頭,用于下盤內(nèi)通冷卻水,下盤冷卻水流量可通過電動(dòng)閥比例調(diào)節(jié)

2  PP 拋光頭位于設(shè)備的上部,PP 頭的升降及加壓由氣缸實(shí)現(xiàn),四個(gè) PP 頭的升降及加壓均單獨(dú)控制;PP 頭可主動(dòng)旋轉(zhuǎn),單獨(dú)控制;PP 頭具備真空吸附功能,可將陶瓷盤快速提起

3 在設(shè)備的上部箱體正面設(shè)有主操作面板,可進(jìn)行參數(shù)設(shè)定,運(yùn)行監(jiān)控等功能,在上箱體的兩個(gè)側(cè)面分別設(shè)有小操縱板用于四個(gè) PP 頭的升降操作,在機(jī)臺相對應(yīng)的機(jī)架位也有一鍵裝盤操作功能                            

4 拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設(shè)備的后部引入;                               5 在下盤的外側(cè)設(shè)有可滑動(dòng)的防護(hù)罩,可防止工作液的飛濺,減少有害氣體的溢出;    

6 設(shè)備具有水液分離機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)拋光液及水的自由切換;                           7 在下拋盤中間設(shè)有可升降的一個(gè)中間導(dǎo)輪裝置,在接液盆邊緣部位設(shè)有四個(gè)外導(dǎo)輪裝置,二者配合可實(shí)現(xiàn)工件盤的自動(dòng)定位;

8 拋光液流經(jīng)或可能會接觸到的地方均采用不銹鋼材料或耐腐蝕非金屬材料制作或進(jìn)行 特殊的防腐處理,液桶采用透明 PVC 或不銹鋼制作 (按客戶需求定) ,拋光液管路采用潔凈 PVC 制作,滿足強(qiáng)酸強(qiáng)堿強(qiáng)氧化劑的使用環(huán)境。

10 具有自動(dòng)沖水裝置,PP 頭將陶瓷盤提起后,可自動(dòng)對工件或 PP 頭進(jìn)行噴水沖洗 (選配);

11 界面密碼分級管理,可根據(jù)不同權(quán)限設(shè)置;

12 歷史數(shù)據(jù) (溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、時(shí)間等) 可導(dǎo)出。


設(shè)備規(guī)格

名稱

規(guī)格

備注

  • 下盤

    直徑

    拋光∅1320mm

  • 材料

    SUS410

  • 轉(zhuǎn)速

    0-48rpm

  • 驅(qū)動(dòng)電機(jī)

    22KW

  • 上盤

    直徑

    ∅520mm

  • 材料

    SUS304或SUS316L

  • 功率

    0.75kw

  • 驅(qū)動(dòng)電機(jī)

    1-55rpm

  • 壓力

    0- 400kg

  • 最大加工直徑

    ∅ 500mm( 或?qū)?

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